真空泵，螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對(duì)清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
螺桿真空泵在使用過程中會(huì)受到漏氣的影響。許多用戶認(rèn)為這是設(shè)備的質(zhì)量問題，已被新設(shè)備取代。但是，漏氣的原因不僅是質(zhì)量問題，而且前后蓋也不一樣也就是說，螺桿真空泵的前后蓋有不同的軸向度，其結(jié)果與軸承撓度相同。
液環(huán)溫升隨著液環(huán)溫度的升高，飽和蒸汽壓也隨之升高，降低了螺桿真空泵的真空度，但對(duì)排氣壓力沒有影響，密封不嚴(yán)擰緊螺桿真空泵各連接螺栓及填料函，將管道、儀表與其它部件連接處包緊，或更換墊片、填料。

對(duì)于螺桿真空泵的泄漏，油灰也可以作為臨時(shí)補(bǔ)救措施，使軸承產(chǎn)生偏斜，從而使葉輪傾斜并安裝在螺桿真空泵的泵體中。單作用泵軸向間隙不均勻。當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，側(cè)蓋必須有一定的摩擦，側(cè)蓋和葉輪端面會(huì)被劃傷。

當(dāng)壓縮室內(nèi)的氣體通過增加的間隙時(shí)，軸向間隙增大，大量氣體漏入吸入室，從而降低螺桿真空泵的真空壓力或排氣壓力。此時(shí)，必須拆下螺桿真空泵的軸承進(jìn)行維護(hù)，然后正確安裝。螺桿真空泵是一種泵裝置，它完成泵殼內(nèi)同步高速反向旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的吸、排氣工作。