真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

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1. 物理法

使用物理法進(jìn)行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空，是一種捕集真空裝置；吸氣劑泵則是利用吸氣劑（一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在）捕獲氣體，進(jìn)行抽真空；吸氣劑離子泵將氣體電離，再通過電場、磁場的作用達(dá)到吸附在材料表面的目的，從而實(shí)現(xiàn)抽氣，又分為兩種，一種是蒸發(fā)離子泵，被電離的氣體持續(xù)或者以間斷的升華從而被吸附，另外一種是濺射離子泵，被電離的離子，被吸附在由陰極持續(xù)濺射出來的吸氣材料上，實(shí)現(xiàn)吸氣。

2. 機(jī)械法
使用機(jī)械法抽真空的也有兩種類型的泵，一種是變?nèi)菡婵毡茫环N動量傳輸泵。變?nèi)菡婵毡猛ㄟ^泵的容腔容積的變化完成吸氣和排氣的過程，達(dá)到抽氣的目的，分為復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。
還有就是動量傳輸泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片或者高速的射流，氣體分子接收到這種動量，這種動量將氣體連續(xù)的輸送，包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及擴(kuò)散泵等。

無論是物理法還是機(jī)械法獲取真空，油封式真空泵都需要使用真空泵過濾器，才能符合環(huán)保部門的排放標(biāo)準(zhǔn)。