按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
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1. 物理法
使用物理法進(jìn)行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空,是一種捕集真空裝置;吸氣劑泵則是利用吸氣劑(一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在)捕獲氣體,進(jìn)行抽真空;吸氣劑離子泵將氣體電離,再通過電場、磁場的作用達(dá)到吸附在材料表面的目的,從而實(shí)現(xiàn)抽氣,又分為兩種,一種是蒸發(fā)離子泵,被電離的氣體持續(xù)或者以間斷的升華從而被吸附,另外一種是濺射離子泵,被電離的離子,被吸附在由陰極持續(xù)濺射出來的吸氣材料上,實(shí)現(xiàn)吸氣。
2. 機(jī)械法?宛城真空泵抽真空原有這2種方式