真空泵，螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應用。
螺桿真空泵在使用過程中會受到漏氣的影響。許多用戶認為這是設備的質(zhì)量問題，已被新設備取代。但是，漏氣的原因不僅是質(zhì)量問題，而且前后蓋也不一樣也就是說，螺桿真空泵的前后蓋有不同的軸向度，其結(jié)果與軸承撓度相同。
液環(huán)溫升隨著液環(huán)溫度的升高，飽和蒸汽壓也隨之升高，降低了螺桿真空泵的真空度，但對排氣壓力沒有影響，密封不嚴擰緊螺桿真空泵各連接螺栓及填料函，將管道、儀表與其它部件連接處包緊，或更換墊片、填料。

對于螺桿真空泵的泄漏，油灰也可以作為臨時補救措施，使軸承產(chǎn)生偏斜，從而使葉輪傾斜并安裝在螺桿真空泵的泵體中。單作用泵軸向間隙不均勻。當葉輪轉(zhuǎn)動時，側(cè)蓋必須有一定的摩擦，側(cè)蓋和葉輪端面會被劃傷。

當壓縮室內(nèi)的氣體通過增加的間隙時，軸向間隙增大，大量氣體漏入吸入室，從而降低螺桿真空泵的真空壓力或排氣壓力。此時，必須拆下螺桿真空泵的軸承進行維護，然后正確安裝。螺桿真空泵是一種泵裝置，它完成泵殼內(nèi)同步高速反向旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的吸、排氣工作。