真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

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1、真空泵的蒸汽允許量，
蒸汽的允許量單位是kg/h，它是指泵在畸型標淮標淮下，氣鎮泵在相繼作業時能抽除的蒸汽品質流量。
2、真空泵抽真空效率，
泵的抽真空速率單位是m3/s或l/s,泵裝有標準實驗罩并按照規定標淮工作時，從實驗罩流過的氣體壓力與在實驗驗罩上指定位置側得的平衡工作壓力之比，簡稱真空泵抽速，單位為m3/a或L/s.
3、真空泵抽氣量，
流過泵入口的氣體流里.單位為Pa.m3/s或Pa.L/s,
4、真空泵極限工作壓力，
泵裝有標準實驗罩并按照規定標淮工作時，在不引入氣體正常工作的情形下，趨向穩定的最低工作壓力，在不引入氣體畸型作業的情況下，趨勢穩固的   工業氣壓強，壓強單位是Pa ，
5、真空泵啟動工作壓力，
真空泵無損壞啟動并有抽真空作用時的工作壓力，Pa，
6、真空泵前級工作壓力，
排氣工作壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口工作壓力.單位為Pa，
7、真空泵最大前級工作壓力，
.超過此值泵將不能正常工作的工作壓力稱最大前級工作壓力，單位為Pa，
8、真空泵最大工作壓力，
對應最大抽真空且的入口工作壓力.此工作壓力下泵能連續工作而不惡化或損壞，
9、真空泵壓縮比，
真空泵對給定氣體的出口工作壓力與入口工作壓力之比，
10、真空泵的返流率，
泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規程標淮作業時，經過泵出口單位面積的泵流品質流率，