真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

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1. 物理法

使用物理法進行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空，是一種捕集真空裝置；吸氣劑泵則是利用吸氣劑（一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在）捕獲氣體，進行抽真空；吸氣劑離子泵將氣體電離，再通過電場、磁場的作用達到吸附在材料表面的目的，從而實現抽氣，又分為兩種，一種是蒸發離子泵，被電離的氣體持續或者以間斷的升華從而被吸附，另外一種是濺射離子泵，被電離的離子，被吸附在由陰極持續濺射出來的吸氣材料上，實現吸氣。

2. 機械法
使用機械法抽真空的也有兩種類型的泵，一種是變容真空泵，一種動量傳輸泵。變容真空泵通過泵的容腔容積的變化完成吸氣和排氣的過程，達到抽氣的目的，分為復式和旋轉式兩種。
還有就是動量傳輸泵，通過高速旋轉的葉片或者高速的射流，氣體分子接收到這種動量，這種動量將氣體連續的輸送，包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及擴散泵等。

無論是物理法還是機械法獲取真空，油封式真空泵都需要使用真空泵過濾器，才能符合環保部門的排放標準。