真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

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1.旋片真空泵的工作原理
旋片真空泵(簡(jiǎn)稱(chēng)旋片泵)是一種油封機(jī)械真空泵。其工作壓力范圍為101325~1.33倍；10-2(pa)屬于低真空泵。可單獨(dú)使用，也可作為其他高真空泵或真空泵機(jī)組的前級(jí)泵。它已廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)。
2.水環(huán)真空泵的工作原理
水環(huán)真空泵葉片的葉輪偏心安裝在圓柱形泵殼內(nèi)。一定量的水被注入泵中。當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被甩到泵殼上形成水環(huán)，水環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半轂與水環(huán)之間的進(jìn)氣空間逐漸擴(kuò)大，從而形成真空，使氣體通過(guò)進(jìn)氣管進(jìn)入泵內(nèi)的進(jìn)氣空間。然后氣體進(jìn)入左半部，由于轂環(huán)之間的容積逐漸壓縮，壓力增大，于是氣體通過(guò)排氣空間和排氣管排到泵外。
3.羅茨真空泵的工作原理
真空泵機(jī)組中的羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，泵送氣體從空氣入口被吸入轉(zhuǎn)子和泵殼之間的空間v0，然后通過(guò)空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關(guān)閉，泵室中的氣體不會(huì)被壓縮和膨脹。然而，當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部翻轉(zhuǎn)排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側(cè)連通時(shí)，由于排氣側(cè)的高氣體壓力，一些氣體被沖回到空間v0中，這突然增加了氣體壓力。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體從泵中排出。