干式真空泵是一種為了滿足工業生產對真空環境越來越嚴格的要求而發展起來的新型真空獲得設備，也稱作無油真空泵。

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通過泵內轉子等運動部件的旋轉或往復運動，不斷改變泵內的容積，從而吸入、壓縮和排出氣體，形成真空。
例如螺桿式真空泵，依靠兩根靠近但不接觸的螺桿轉子不斷吸入、擠壓、排出氣體；爪型泵通過爪型轉子的運動來實現氣體的抽取和壓縮；活塞式真空泵則利用活塞在氣缸內的往復運動達到抽氣目的。
利用高速旋轉的葉輪或渦輪等部件，將動量傳遞給氣體分子，使氣體分子獲得足夠的動能，從而被排出泵外，實現抽氣。
例如渦輪式無油泵，在結構上采用徑向流和周向流泵的復合式結構，多級串聯抽氣。
應用領域：
半導體制造：半導體生產過程中需要高純度的真空環境，干式真空泵能夠避免油污染對半導體產品的影響，廣泛應用于光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝環節。
化工行業：可用于化工工藝中的真空蒸餾、干燥、反應釜等設備，能夠處理各種腐蝕性氣體和化學物質，并且具有良好的耐腐蝕性。
制藥行業：在藥品生產過程中，干式真空泵可用于藥品的干燥、濃縮、包裝等環節，保證藥品的質量和安全性。
航天航空：用于航天器的模擬試驗、衛星的組裝和調試等環節，對真空度的要求非常高。