真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
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1、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓開端低落真空體系壓強(qiáng)到達(dá)另一抽氣體系能夠開端事情的真空泵。
2、前級泵
前級泵是指用于使另一個(gè)泵的前級壓強(qiáng)維持在其最高答應(yīng)的前級壓強(qiáng)以下的真空泵。
3、在體系中做主泵
所謂主泵便是對真空體系被抽容器間接停止抽真空,以取得饜足工藝請求所需真空度的真空泵。
4、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣開端,低落被抽容器的壓強(qiáng)后事情在低真空或粗真空壓強(qiáng)范疇內(nèi)的真空泵。
5、高真空泵
高真空泵是指在高真空范疇事情的真空泵。
6、維持泵
維持泵是指認(rèn)真空體系抽氣很小時(shí),不可以有用的應(yīng)用重要前級泵。為此,在真空體系中另配一種抽氣速率較小的幫助前級泵來維持主泵的正常事情或維持已抽閑的容器所需的高壓的真空泵。
7、增壓泵
增壓泵平日指事情在低真空泵和高真空泵之間,用以進(jìn)步抽氣體系在中心壓強(qiáng)范疇的抽宇量或低落前級泵抽氣速度請求的真空泵。
8、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范疇事情的真空泵。