真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

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1、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓開端低落真空體系壓強(qiáng)到達(dá)另一抽氣體系能夠開端事情的真空泵。
2、前級(jí)泵
前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其最高答應(yīng)的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
3、在體系中做主泵
所謂主泵便是對(duì)真空體系被抽容器間接停止抽真空，以取得饜足工藝請(qǐng)求所需真空度的真空泵。
4、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣開端，低落被抽容器的壓強(qiáng)后事情在低真空或粗真空壓強(qiáng)范疇內(nèi)的真空泵。
5、高真空泵
高真空泵是指在高真空范疇事情的真空泵。
6、維持泵
 維持泵是指認(rèn)真空體系抽氣很小時(shí)，不可以有用的應(yīng)用重要前級(jí)泵。為此，在真空體系中另配一種抽氣速率較小的幫助前級(jí)泵來維持主泵的正常事情或維持已抽閑的容器所需的高壓的真空泵。
7、增壓泵
增壓泵平日指事情在低真空泵和高真空泵之間，用以進(jìn)步抽氣體系在中心壓強(qiáng)范疇的抽宇量或低落前級(jí)泵抽氣速度請(qǐng)求的真空泵。
8、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范疇事情的真空泵。