干式真空泵是一種為了滿足工業(yè)生產(chǎn)對真空環(huán)境越來越嚴(yán)格的要求而發(fā)展起來的新型真空獲得設(shè)備，也稱作無油真空泵。

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通過泵內(nèi)轉(zhuǎn)子等運動部件的旋轉(zhuǎn)或往復(fù)運動，不斷改變泵內(nèi)的容積，從而吸入、壓縮和排出氣體，形成真空。
例如螺桿式真空泵，依靠兩根靠近但不接觸的螺桿轉(zhuǎn)子不斷吸入、擠壓、排出氣體；爪型泵通過爪型轉(zhuǎn)子的運動來實現(xiàn)氣體的抽取和壓縮；活塞式真空泵則利用活塞在氣缸內(nèi)的往復(fù)運動達(dá)到抽氣目的。
利用高速旋轉(zhuǎn)的葉輪或渦輪等部件，將動量傳遞給氣體分子，使氣體分子獲得足夠的動能，從而被排出泵外，實現(xiàn)抽氣。
例如渦輪式無油泵，在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級串聯(lián)抽氣。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造：半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中需要高純度的真空環(huán)境，干式真空泵能夠避免油污染對半導(dǎo)體產(chǎn)品的影響，廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)。
化工行業(yè)：可用于化工工藝中的真空蒸餾、干燥、反應(yīng)釜等設(shè)備，能夠處理各種腐蝕性氣體和化學(xué)物質(zhì)，并且具有良好的耐腐蝕性。
制藥行業(yè)：在藥品生產(chǎn)過程中，干式真空泵可用于藥品的干燥、濃縮、包裝等環(huán)節(jié)，保證藥品的質(zhì)量和安全性。
航天航空：用于航天器的模擬試驗、衛(wèi)星的組裝和調(diào)試等環(huán)節(jié)，對真空度的要求非常高。