真空泵機組通常由一個或多個主泵和前級泵串聯(lián)而成，其中主泵負(fù)責(zé)主要的抽氣工作，而前級泵則用于創(chuàng)造主泵所需的預(yù)備真空。

常見的組合包括水環(huán)真空泵與羅茨泵的組合，其中水環(huán)泵作為前級泵，羅茨泵作為主泵。

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真空泵機組具有諸多優(yōu)點，如抽氣速度快、極限真空度高、能處理大量可凝性蒸汽等，這些優(yōu)點使其廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
化工行業(yè)：用于真空蒸餾、真空蒸發(fā)、脫水結(jié)晶等工藝過程。
食品行業(yè)：在冷凍干燥過程中發(fā)揮重要作用。
醫(yī)藥工業(yè)：用于真空干燥等制藥工藝。
輕紡工業(yè)：在滌綸切片等生產(chǎn)環(huán)節(jié)中也有應(yīng)用。
高空模擬試驗：在需要模擬高空環(huán)境的試驗中，真空泵機組也是不可或缺的設(shè)備。