真空泵機組是一種重要的真空設(shè)備，通過多級泵的組合實現(xiàn)了高效的真空產(chǎn)生和維持。

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真空泵機組通常由主泵和前級泵串聯(lián)而成，以形成所需的真空系統(tǒng)，常見的組合包括以羅茨泵為主泵，以水環(huán)泵為前級泵的真空泵機組，這種組合方式能夠克服單臺泵在極限壓力、抽氣速率等方面的不足，同時保留各自泵的優(yōu)點。
前級泵（如水環(huán)泵）主要用于造成主泵（如羅茨泵）所需的預(yù)備真空，水環(huán)泵通過工作水在泵腔內(nèi)形成旋轉(zhuǎn)的水環(huán)，從而抽除氣體，降低系統(tǒng)壓力。
當(dāng)系統(tǒng)壓力降低到一定程度后，主泵（如羅茨泵）開始工作，羅茨泵利用兩個相互嚙合的轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，將氣體從進氣口抽至排氣口，進一步提高系統(tǒng)真空度。
在選擇真空泵機組時，需要考慮以下因素：
系統(tǒng)需求：根據(jù)真空系統(tǒng)的具體需求選擇合適的泵型和組合方式。
工作環(huán)境：考慮泵的工作溫度、壓力范圍、介質(zhì)性質(zhì)等因素。
成本與維護：綜合考慮泵的價格、運行成本以及維護便捷性等因素。