真空泵機組通常由一個或多個主泵和前級泵串聯而成，其中主泵負責主要的抽氣工作，而前級泵則用于創造主泵所需的預備真空。

常見的組合包括水環真空泵與羅茨泵的組合，其中水環泵作為前級泵，羅茨泵作為主泵。

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真空泵機組具有諸多優點，如抽氣速度快、極限真空度高、能處理大量可凝性蒸汽等，這些優點使其廣泛應用于以下領域：
化工行業：用于真空蒸餾、真空蒸發、脫水結晶等工藝過程。
食品行業：在冷凍干燥過程中發揮重要作用。
醫藥工業：用于真空干燥等制藥工藝。
輕紡工業：在滌綸切片等生產環節中也有應用。
高空模擬試驗：在需要模擬高空環境的試驗中，真空泵機組也是不可或缺的設備。