真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

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1.旋片真空泵的工作原理
旋片真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封機械真空泵。其工作壓力范圍為101325~1.33倍；10-2(pa)屬于低真空泵。可單獨使用，也可作為其他高真空泵或真空泵機組的前級泵。它已廣泛應(yīng)用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。
2.水環(huán)真空泵的工作原理
水環(huán)真空泵葉片的葉輪偏心安裝在圓柱形泵殼內(nèi)。一定量的水被注入泵中。當葉輪旋轉(zhuǎn)時，水被甩到泵殼上形成水環(huán)，水環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半轂與水環(huán)之間的進氣空間逐漸擴大，從而形成真空，使氣體通過進氣管進入泵內(nèi)的進氣空間。然后氣體進入左半部，由于轂環(huán)之間的容積逐漸壓縮，壓力增大，于是氣體通過排氣空間和排氣管排到泵外。
3.羅茨真空泵的工作原理
真空泵機組中的羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，泵送氣體從空氣入口被吸入轉(zhuǎn)子和泵殼之間的空間v0，然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關(guān)閉，泵室中的氣體不會被壓縮和膨脹。然而，當轉(zhuǎn)子的頂部翻轉(zhuǎn)排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側(cè)連通時，由于排氣側(cè)的高氣體壓力，一些氣體被沖回到空間v0中，這突然增加了氣體壓力。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，氣體從泵中排出。